
加熱器是熱場中很重要的部件,是直接發(fā)熱體,溫度最高的時(shí)候可以達(dá)到1600度以上。常見的加熱器有三種形狀,筒狀、杯狀、螺旋狀。
石墨接觸到的單晶硅加熱器形狀一般都是直筒狀的。一般情況下,加熱器采用的高純石墨加工。
石墨電極的作用平穩(wěn)固定加熱器并通過他歲加熱器輸送電流。
因此在電極要厚重,結(jié)實(shí)耐用、表面要光滑平穩(wěn),保證良好的接觸面,通電時(shí)不打火,石墨電極也是有高純石墨加工的。
坩堝托桿、坩堝和托盤共同構(gòu)成了石墨坩堝的支撐體,要求和下軸結(jié)合牢固,對中性良好在下軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),托桿及托盤的擺渡小于等于0.5mm石墨支撐體的高度是可以調(diào)節(jié)的。